检测项目
准确度检测：
- 测量误差：±0.5%FS（参照ISO3567）
- 绝对误差限：≤0.3%读数
- 相对误差：±0.2%满量程
- 线性误差：≤1.0%（参数拟合优度R²≥0.99）
- 非线性偏差：±0.5%FS（参照ASTME74）
- 重复性误差：≤0.3%（标准偏差σ）
- 短期稳定性：±0.1%读数/10min
- 长期漂移：≤0.1%/年（零点稳定性）
- 满量程漂移：±0.2%FS/6个月
- 温度系数：±0.02%/°C（温度范围-20°C至60°C）
- 热滞误差：≤0.5%FS
- 湿度误差：≤0.5%RH变化（相对湿度50%至90%）
- 冷凝适应性：无功能失效
- 上升时间：≤100ms（压力变化10%至90%）
- 下降时间：≤150ms
- 零点误差：±0.05%（参照GB/T778.1）
- 零点调节范围：±5%FS
- 满量程精度：±0.2%FS（参数如1000mbar点）
- 量程线性验证：误差限±0.3%
- 抗振动性能：5g加速度检测（参照EN60068）
- 电磁兼容性：EN61000标准符合性
检测范围
1.半导体制造设备：涵盖真空镀膜机及蚀刻腔体，重点检测微米级压力波动与低真空稳定性。
2.真空热处理炉：针对高温环境（≤1200°C），检测热漂移影响及压力维持精度。
3.航天器测试系统：模拟太空低压环境（10^-6mbar），侧重超高真空精度与零点漂移验证。
4.医疗真空系统：如手术室负压设备，检测负压范围（-800mbar至0mbar）及响应可靠性。
5.科研粒子加速器：超高真空应用（10^-9mbar），重点校准电离真空计的线性度和长期稳定性。
6.食品真空包装机：商业包装设备，检测快速抽真空性能（压力降至100mbar）及重复性误差。
7.汽车制动助力器：真空助力系统，评估响应时间（≤50ms）及温度适应性。
8.电子元件封装设备：低压密封环境，检测电容薄膜真空计的湿度影响与精度衰减。
9.化工反应釜：真空蒸馏过程，侧重腐蚀环境下的零点校准与满量程偏移。
10.家用真空电器：如吸尘器传感器，检测日常振动条件下的稳定性及误差范围。
检测方法
国际标准：
- ISO3567:2020Vacuumgauges-Calibrationbydirectcomparisonwithreferencegauges
- ASTME112-13JianCeTestMethodsforDeterminingAverageGrainSize
- EN61000-6-2:2019Electromagneticcompatibility-Genericstandards
- GB/T778.1-2023真空计校准规范第1部分：直接比较法
- JJG882-2019压力传感器检定规程
- GB/T17626.2-2018电磁兼容试验和测量技术
检测设备
1.真空压力校准器：CPC6000型（精度±0.01%FS，量程0-1000mbar）
2.参考真空计：PKR251型（量程10^-3至1000mbar，精度0.1%）
3.标准真空室：500L体积（压力范围10^-6至1000mbar，不锈钢材质）
4.数据采集系统：DAQ-6210型（采样率1MHz，分辨率16位）
5.温度控制箱：PL-3K型（温度范围-40°C至150°C，精度±0.5°C）
6.湿度发生器：HM70型（湿度范围10%至95%RH，精度±1.5%）
7.数字万用表：8846A型（直流电压精度0.005%）
8.示波器：DSOX1204A型（带宽200MHz，采样率2GSa/s）
9.气路控制系统：ITV2050型（调节范围0-0.7MPa，响应时间10ms）
10.泄漏检测仪：HL5000型（灵敏度10^-6mbar·L/s）
11.动态压力发生器：DPI620型（频率响应1kHz，压力波动≤0.1%）
12.静态压力源：7250i型（精度±0.005%FS，量程0-100bar）
13.高度模拟器：CPC8000型（高度仿真-1000至9000m，精度0.01%）
14.校准泵组：干泵系统（真空度10^-2mbar，流量10L/min）
15.参考压力传感器：4045A型（量程0-1000bar，精度0.05%，温度补偿）
北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】
报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。
检测周期：7~15工作日，可加急。
资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。
标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。
非标测试：支持定制化试验方案。
售后：报告终身可查，工程师1v1服务。
